真空炉高温脱气对降低不锈钢脱气率的影响

根据基本真空公式p=Q/S可知，要获得超高真空，即低压p，主要有降低空气负荷Q和提高抽速S两种方法。技术发展到目前的水平，提高各种泵的抽速的研究还没有取得太大进展。 而且，在细长真空系统（如粒子存储环、加速器束传输线等）中，泵的有效抽速受到电导的限制。 即使使用抽速较高的泵，也不会对系统真空度产生较大的影响。 影响。 可见，获得超高真空最有效的方法是降低空气负荷。 在超高真空系统中，材料的脱气通常是空气中空气的主要来源。 从经济角度和空间位置来看，如果能采用特殊工艺将物料的气体流出量降低一个数量级，比增加10倍的泵经济合理得多。 因此出气率，研究先进工艺来处理材料并获得尽可能低的材料脱气率一直是超高真空领域的重要研究课题。 20世纪70年代，采用真空炉高温烘烤，除去熔炼过程中溶解在材料内部的各种气体（主要是H2），从而获得低脱气工艺。 这种脱气工艺已在国外许多粒子加速器真空系统中得到广泛应用。 该应用也达到了预期的效果。 国内很多真空设备部件（如溅射离子泵芯、泵壳等）也采用真空炉脱气的方法来获得较高的极限真空（大于5×10-9Pa）。 但由于条件所限，国内很多超高真空装置很少对其系统中的真空室、真空管道等部件采用真空炉高温脱气方式。 大多采用真空清洗和现场烘烤（低于350℃）工艺。 获得超高真空。

真空炉高温脱气工艺对于降低不锈钢的脱气率有着非常显着的效果。 对于金属密封且设计合理的真空系统，如果所需的真空度在10-6至10-8Pa之间，每个真空室都可以采用真空炉中的高温除气工艺进行处理，无需任何设备即可实现。 - 现场烘烤。 两者相比，高温脱气工艺的成本比现场烘烤装置要低，而且一劳永逸，不需要每次暴露都重新烘烤。气氛。 更重要的是，无需为烘烤装置留出空间，这对于设计空间有限的系统非常有利。

对于q≤10-11Pa·L/s·cm2的系统，单纯依靠现场烘烤或真空炉高温脱气是不可能的，必须结合起来才能实现。 由于采用了真空炉高温脱气工艺和现场烘烤措施，样机真空系统达到了5×10-10Pa的水平，为整个HIRFL-CSR真空系统提供了6×10-9Pa。 可靠的保证。